物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)中的關(guān)鍵技術(shù)之一就是傳感器技術(shù)。目前，MEMS傳感器已經(jīng)廣泛應(yīng)用在物聯(lián)網(wǎng)中的各個領(lǐng)域之中。近幾年，MEMS傳感器的銷售額一直保持著穩(wěn)步的增長。隨著消費(fèi)電子、汽車電子產(chǎn)品等下游行業(yè)的快速發(fā)展、全球電子整機(jī)產(chǎn)業(yè)以及硬件創(chuàng)新市場逐漸向中國轉(zhuǎn)移，中國市場對于MEMS元器件的需求增速，遠(yuǎn)高于全球MEMS市場的增速。

MEMS中的核心元件一般包含兩類：一個傳感器或執(zhí)行器，以及一個信號傳輸單元。傳感器將外界信號轉(zhuǎn)換為電信號，執(zhí)行器與外界產(chǎn)生作用，信號傳輸單元能夠?qū)π盘栠M(jìn)行處理以及與其他微系統(tǒng)連接。此類傳感器具有體積小、重量輕、功耗低、可靠性高、靈敏度高、易于集成等優(yōu)點(diǎn)，在諸多領(lǐng)域中具備傳統(tǒng)的機(jī)械傳感器所難以比擬的比擬的優(yōu)勢。

產(chǎn)品概述

精訊暢通推出的數(shù)字量MEMS氣體傳感器是利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板，所用氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料。當(dāng)環(huán)境空氣中被檢測氣體存在時傳感器電導(dǎo)率發(fā)生變化，該氣體濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。在這種情況下，只需使用較為簡單的電路，即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)變?yōu)殡娏鞯淖兓?，進(jìn)而生成與該氣體濃度相對應(yīng)的輸出信號。

該氣體傳感器采用數(shù)字量進(jìn)行檢測數(shù)據(jù)的傳遞，該數(shù)據(jù)傳輸模式抗干擾性能好，同時不會因阻抗匹配問題影響測量的準(zhǔn)確度，并且輸出數(shù)據(jù)更便于計算機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行數(shù)值運(yùn)算分析，輸出數(shù)值不易產(chǎn)生附加誤差。

產(chǎn)品亮點(diǎn)

1.微型化設(shè)計。產(chǎn)品體積小、諧振頻率高、功耗低、響應(yīng)速度更快，同時，MEMS傳感器表面體積比高的特性，也意味著傳感器的敏感程度更高。

2.高度集成。不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器和執(zhí)行器，可以被集成于一體，形成高效、多功能的微傳感器陣列或微執(zhí)行器陣列，在小體積狀態(tài)下實現(xiàn)更多功能。

3.高溫、低溫環(huán)境下工作適應(yīng)性良好。產(chǎn)品功耗較低，工作過程中基本不產(chǎn)生熱輻射，不會令周圍環(huán)境產(chǎn)生明顯的溫度濕度變化，不影響相關(guān)監(jiān)測過程的進(jìn)行。

4.抗震性好。MEMS傳感器體積小、重量輕，處于震顫狀態(tài)下時不易發(fā)生形變或移位現(xiàn)象，可保持檢測性能處在正常狀態(tài)下。

5.使用壽命長。

產(chǎn)品參數(shù)

可測氣體類型

使用注意事項

應(yīng)用領(lǐng)域